光掩模及图案形成方法

摘要

本发明公开了一种光掩模、及图案形成方法。本发明的目的在于：提供一种光掩模，该光掩模能够形成较好再现的相互交叉或者合流的多个狭缝图案。光掩模，在透过性衬底上，包括：彼此间隔相同分开设置的3个以上的叠片状第1遮光部分110a、与第1遮光部分110a邻接形成的第3遮光部分110c、以及被第1遮光部分110a和第3遮光部分110c包围形成的狭缝状第1透光部分。第3遮光部分110c，以包含距3个以上的所述第1遮光部分110a的距离相同的点的形式形成。通过使用本光掩模，能够用同一个工序形成连接孔图案、和蜂窝状连接孔图案。

主权项

1.一种光掩模，其特征在于：在透光性衬底上，包括：对曝光的光具有遮光性的、彼此间隔相同分开设置的3个以上的叠片状第1遮光部分，对所述曝光的光具有遮光性的、与所述第1遮光部分邻接形成的第2遮光部分，以及对所述曝光的光具有透光性的、被所述第1遮光部分和所述第2遮光部分包围形成的狭缝状第1透光部分；所述第2遮光部分，以包含距所述3个以上的所述第1遮光部分的距离相同的点的形式形成。