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发明名称 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM VERBINDEN VON WAFERN
摘要
申请公布号 AT500075(A3) 申请公布日期 2006.06.15
申请号 AT20050000212 申请日期 2005.02.09
申请人 THALLNER ERICH 发明人 THALLNER ERICH DIPL.ING.
分类号 H01L21/00;H01L21/18;H01L21/20;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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