改进的超声处理方法和装置

摘要

用于清洗衬底和增强衬底表面处的扩散受限反应的改进的方法和装置使用运行在千兆声波域中的压电式换能器。谐振器组件包括多个换能器层叠，每一个换能器层叠包括耦合到面向衬底的谐振器板的薄膜压电元件。在所使用的公开的频率和功率，在液态处理媒介中可引起爱卡（Eckart）或瑞利（Rayleigh）流却不大量产生空穴。

主权项

一种用于处理衬底的装置，其包括：用于所述衬底的保持器；设置为与被所述保持器保持时的衬底间隔预定距离的声波谐振器组件，所述声波谐振器组件包括具有从200nm到20μm的范围内的厚度的至少一个压电层；用于供应液体到被所述保持器保持时的所述衬底和所述声波谐振器组件之间的间隙中的分配器，其中所述声波谐振器组件包括位于所述压电层和所述间隙中的液体之间的固体谐振器主体；和声能的源，其被配置来为所述声波谐振器组件供应具有约100MHz到5GHz的频率以及功率高达10W/cm²的声能。