| 摘要 |
Ein MEMS-Mikrofon-Package wird beschrieben, das einen ersten Knoten und einen zweiten Knoten mit fast äquivalenten parasitären 3D-Kapazitäten relativ zu einem Vorverstärker des Mikrofon-Package enthält, so dass etwaiges, am ersten Knoten generiertes Rauschen äquivalent einem etwaigen, am zweiten Knoten generierten Rauschen ist. Eine externe Stromversorgung ist mit dem ersten Knoten verbunden und liefert ein Vorspannungssignal an das MEMS-Mikrofon-Package über den ersten Knoten. Ein invertierender Verstärker ist zwischen die Stromversorgung und den zweiten Knoten geschaltet. Ein dritter Knoten ist durch einen kapselnden parasitären Kondensator mit dem ersten Knoten verbunden, während der zweite Knoten entweder durch einen beabsichtigten parasitären Kondensator oder einen expliziten Kondensator mit dem dritten Knoten verbunden ist. Das von der externen Stromversorgung zum dritten Knoten gekoppelte Rauschen wird dann durch Summieren des invertierten Stromversorgungsrauschens in den dritten Knoten aufgehoben. |
