高频悬臂式探针卡

摘要

本实用新型提供一种高频悬臂式探针卡，用于测试一半导体晶粒，其包含一电路板、多支探针、一探针固定环与多层遮蔽层，该电路板具有一上表面与一下表面，在该上表面设置多个测试接点，并在该下表面设置多个金属焊点，该电路板的中心还形成一穿孔。每一支探针各具有两端，其中之一为一尖端，与半导体晶粒上相对的一接合焊垫接触，另一端则电气连接至该电路板的各个金属焊点。一探针固定环设置于电路板的下表面以及该穿孔的周围，在距离各探针的尖端的一预设长度的地方，将多支探针固定在该探针固定环上。其中探针与遮蔽层的相互交错排列结构，改善了公知悬臂式探针卡信号干扰的问题，提高了测试信号的频率、减少了不稳及误断状况。

主权项

1.一种高频悬臂式探针卡，用于测试一半导体晶粒，其特征是，该高频悬臂式探针卡包含：一电路板，备有一上表面和一下表面，该上表面备有多个测试接点，电气连接至一测试机台，该下表面备有多个金属焊点，该电路板的中心具有一穿孔；多支探针，每支探针各具有两端，其中之一为一尖端，与该半导体晶粒上相对的一接合焊垫接触，另一端电气连接至该电路板的各该金属焊点；一探针固定环，位于该电路板的该下表面与该穿孔的周围，在距离各该探针的该尖端的一预设长度的地方，该多支探针被固定于该探针固定环上； 以及多层遮蔽层，铺设在该探针固定环的外围并介于该多支探针之间，各该多层遮蔽层与其相邻的遮蔽层相互焊接并接地。