SF₆气体纯度仪气路控制模块

摘要

本实用新型提供了一种进行气体压力测量、流量控制及测量的气路控制模块，它由材质为304的阀岛（1）作为基座，被测气体通过进气管（12）、进气管接头（11）进入电磁比例阀（10），然后通过测量前接头（9）、测量进气管（8）进入测量模块（7）进行测量，测量后由测量出气管（6）、测量后接头（4）进入流量计（2）再进入两位三通电磁阀（14），然后经过排气接头（3）和排气管（5）排出，压力传感器（13）实时监测气体压力，流量计（2）实时监测气体流量并可以通过电磁比例阀（10）进行调节，当两位三通电磁阀（14）截断气路时，可通过压力传感器（13）测量气源压力。整个模块制造、装配简单，节省空间。

主权项

一种SF₆气体纯度仪气路控制模块，其特征在于：它由材质为304的阀岛（1）作为基座，被测气体通过进气管（12）、进气管接头（11）进入阀岛（1），经过阀岛（1）内部管路连通进入电磁比例阀（10），然后通过测量前接头（9）、测量进气管（8）进入测量模块（7）进行测量，测量结束后由测量出气管（6）、测量后接头（4）进入阀岛（1），经过阀岛（1）内部管路连通进入流量计（2）再进入两位三通电磁阀（14），然后经过排气接头（3）和排气管（5）排出，进行气体检测时压力传感器（13）实时监测测量管路内气体压力，流量计（2）实时监测气体流量并可以通过电磁比例阀（10）进行调节，保证测量在同一稳定流量下进行，当两位三通电磁阀（14）截断气路时，可通过压力传感器（13）测量气源压力。