目标处理单元

摘要

本发明涉及一种用于使射束指向目标的投影透镜组件。该组件包括透镜支撑体(52)，其跨过平面(P)并具有连接区域(58)和侧边(56)。透镜支撑体被布置成用于沿着插入方向(X)与平面(P)平行地插入处理单元的载物架(42)中。投影透镜组件包括从连接区域发出的管线(60‑64)，以及用于容纳上述管线的管线导向体(70‑81)。该导向体包括第一导向部(72)，用于引导管线从连接区域，沿着平面到达超出侧边的外侧区域(B)。导向体还包括第二导向部(78)，用于将管线从外侧区域(B)朝向管线导向体的倾斜边(79)引导。

主权项

一种目标处理单元(10)，包括：‑投影列(46)，用于生成、成型射束和使射束指向目标(31)，其中所述投影列包括用于使所述射束指向所述目标的投影透镜组件(50)；‑载物架(42)，用于容纳所述投影透镜组件，其中所述投影透镜组件(50)包括：‑扁平透镜支撑体(52)，用于容纳透镜元件(54)，其中所述透镜支撑体跨过一个平面(P)并且包括连接区域(58)和侧边(56)，并且其中所述透镜支撑体被布置成用于沿着平行于所述平面(P)的插入方向(X)插入到所述载物架(42)中；‑从所述连接区域发出并且被指引成平行于所述平面的多个管线(60‑64)；和‑管线导向体(70)，布置成用于容纳所述管线，其中所述管线导向体包括：‑第一导向部(72)，其被布置成用于将所述管线从所述连接区域平行于所述平面并且平行于与插入方向(X)垂直的非零方向分量地引导到超过所述侧边的外侧区域(B)；和‑第二导向部(78)，用于将所述管线从所述外侧区域(B)以垂直所述平面(P)的非零方向分量地引导朝向所述管线导向体的倾斜边(79)。