通过斐索干涉术测量球形像散光学区域的方法

摘要

一种测量球形像散光学区域(40)的方法，包含以下步骤：a)通过波前生成装置(10)产生球形像散波前作为测试波前；b)干涉地测量在所述波前生成装置(10)与所述球形像散区域(40)之间的波前差，所述球形像散表面适配于所述波前生成装置(40)，使得所述测试波前基本在竖直方向上照射在所述球形像散区域(40)中的任意点，进行多个测量，在所述多个测量中，在围绕像散半径的两个中心球形化和/或围绕球形像散区域(40)的表面法线旋转180°的多个位置处测量所述球形像散区域(40)，从而确定相应干涉图位相；以及c)通过数学重建法，建立所述波前生成装置(10)的波前和所述球形像散区域(40)的形状，因此，所述球形像散区域(40)的表面通过使用合适的处理方法来校正，步骤a)至c)被重复直到所述波前差小于限定阈值。

主权项

一种测量球形像散光学表面(40)的方法，包含以下步骤：a)通过波前生成装置(10)产生球形像散波前作为测试波前；b)干涉地测量在所述波前生成装置(10)与所述球形像散表面(40)之间的波前差，所述球形像散表面适配于所述波前生成装置，使得所述测试波前在所述球形像散表面(40)的各个点处基本垂直地入射，其中，进行多个测量，在所述多个测量中，在围绕像散半径的两个中心球形化和/或围绕球形像散表面(40)的表面法线旋转180°的多个位置处测量所述球形像散表面(40)，其中相应干涉图位相得到确定；以及c)通过数学重建法，建立所述波前生成装置(10)的波前和所述球形像散表面(40)的表面形状，由此，所述球形像散表面(40)的表面通过合适的处理方法来校正，其中，步骤a)至c)被重复直到所述波前差位于限定阈值下为止。