首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 TEMPERATURE CONTROL SYSTEM FOR A THERMAL REACTOR
摘要
申请公布号 EP1093664(A1) 申请公布日期 2001.04.25
申请号 EP19990921885 申请日期 1999.05.11
申请人 SEMITOOL, INC. 发明人 MCHUGH, PAUL, R.;STODDARD, KEVIN;TSAKALIS, KONSTANTINOS
分类号 H05B3/00;C23C16/52;C30B25/10;C30B25/16;C30B31/12;C30B31/18;F27B9/02;F27B9/06;F27B9/40;F27D19/00;F27D21/00;G05D23/00;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205;F27B1/00 主分类号 H05B3/00
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com