METHOD AND APPARATUS FOR MODIFYING THE PROFILE OF HIGH-ASPECT-RATIO GAPS USING DIFFERENTIAL PLASMA POWER,申请号KR1020007011718-传众专利搜索

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发明名称	METHOD AND APPARATUS FOR MODIFYING THE PROFILE OF HIGH-ASPECT-RATIO GAPS USING DIFFERENTIAL PLASMA POWER
摘要
申请公布号	KR20010034810(A)	申请公布日期	2001.04.25
申请号	KR1020007011718	申请日期	2000.10.21
申请人		发明人
分类号	C23C16/50	主分类号	C23C16/50
代理机构		代理人
主权项
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