发明名称 Vakuumbeschichtungsanlage
摘要
申请公布号 DE4341635(C2) 申请公布日期 2002.07.18
申请号 DE19934341635 申请日期 1993.12.07
申请人 UNAXIS DEUTSCHLAND HOLDING GMBH 发明人 HENRICH, JUERGEN;ZEJDA, JAROSLAV
分类号 C23C14/50;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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