发明名称 Halbleiterlaser-Vorrichtungen
摘要
申请公布号 DE69633203(D1) 申请公布日期 2004.09.23
申请号 DE1996633203 申请日期 1996.09.17
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 TANAKA, TOSHIAKI;AOKI, SHIGERU
分类号 H01L21/20;H01L33/00;H01L33/02;H01L33/06;H01L33/08;H01L33/10;H01L33/12;H01L33/14;H01L33/16;H01L33/20;H01L33/32;H01L33/34;H01L33/36;H01L33/46;H01S5/02;H01S5/183;H01S5/20;H01S5/223;H01S5/227;H01S5/323;H01S5/42;(IPC1-7):H01S5/30;C08K5/00;H01L21/205 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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