利用气体协同交换原理对容器抽真空的方法

摘要

利用气体协同交换原理对容器抽真空的方法，属于真空技术领域。该方法是利用气体协同交换原理，向容器内多次充入置换气体后对容器抽真空。首先在容器内放入吸附剂，对容器加热，使温度保持在80℃～150℃，对容器抽真空，使容器的真空度为3.0Pa～1.0Pa；然后向容器内充入置换气体，当容器的压力等于3.0×10⁴Pa时停止充气；经过一定时间后对容器再抽真空，当容器真空度为3.0Pa～1.0Pa时，重复充入置换气体后抽真空的步骤3～5次，使容器真空度为0.03Pa～0.01Pa时，停止加热，并停止抽真空。本发明与现有的容器抽真空技术相比，可以缩短抽真空的时间，并可以长时间保持容器的真空度。

主权项

1、一种利用气体协同交换原理对容器抽真空的方法，其特征在于该方法是利用气体协同交换原理，向容器内充入置换气体后对容器抽真空，该方法包括以下步骤：步骤1，在需要抽真空的容器内放入吸附剂；步骤2，对容器加热，根据容器材料的类型使容器的加热温度保持在80℃～150℃；步骤3，对容器抽真空，使该容器的真空度在3.0Pa～1.0Pa；步骤4，向抽到上述真空度的容器内充入置换气体，当容器的压力等于3.0×104Pa时停止充气；步骤5，对充入置换气体后的容器再抽真空，当容器真空度达到3.0Pa～1.0Pa时，停止对容器抽真空；步骤6，重复步骤4和步骤5的过程3～5次，在最后一次对容器充入置换气体抽真空的过程中，当真空度达到0.03Pa～0.01Pa时，停止对容器加热，并停止抽真空。