| 摘要 |
本発明は、スキャニング顕微鏡を作動させるため、およびスキャニング顕微鏡により試料画像が記録されるときに用いられる点像分布関数を決定するための方法に関する。この方法において、試料が少なくとも１つの照明光線で走査され、照明光線による走査中にスキャニング顕微鏡の検出器装置によって少なくとも１つの試料画像が記録され、少なくとも１つの試料画像から点像分布関数が計算され、該点像分布関数を用いてスキャニング顕微鏡により試料画像が記録されることが意図される。受信部材を備える検出器装置が使用され、該受信部材の相互の間隔は試料点が検出器装置で生成する回折ディスクよりも小さくなっている。試料上での照明光線のそれぞれ異なる位置について、受信部材を介して生成される検出器信号が読み出され、それにより試料の走査を通じて、読み出される検出器信号が複数の試料画像を生じさせる。異なる検出器信号に関する点像分布関数は、それぞれ照明・点像分布関数と検出・点像分布関数とを通じて定義される。すべての検出器信号に関して、異なる検出器信号について走査運動に基づきシフトしている１つの一致する照明・点像分布関数が想定される。さらに、すべての検出器信号に関して、各検出器部材の間の空間的なオフセットが考慮された１つの一致する検出・点像分布関数が想定される。複数の試料画像を用いて照明・点像分布関数と検出・点像分布関数とが計算され、これらを用いて異なる検出器信号に関する点像分布関数が計算される。さらに本発明は、これに対応するスキャニング顕微鏡に関する。 |
