| 摘要 |
【課題】装置の大型化およびコストの増加を抑制するとともに、ブロー効果を高めることができる洗浄ブロー装置を提供する。【解決手段】気流中の空気によってワークＷに付着した水分を除去する洗浄ブロー装置６０であって、所定の容積を有する第１処理部１２と、第１処理部１２に配置されワークＷを把持するためのワーク把持部２４と、所定の容積を有する第２処理部１４と、第２処理部１４に配置され気流を発生させる気流発生源３２と、気流発生源３２により発生した気流中の空気の流速をワークＷに当たる前の位置で増加させる流速増加部３４と、を有する。【選択図】 図５ |
