インピーダンスマッチング方法及びインピーダンスマッチングシステム

摘要

本発明は、インピーダンスマッチング装置及びインピーダンスマッチング方法を提供する。可変リアクタンスインピーダンスマッチングネットワークは、駆動周波数ｆを変更する周波数可変ＲＦ電源と負荷との間に配置される。前記可変リアクタンスインピーダンスマッチングネットワークのインピーダンスマッチング方法は、前記インピーダンスマッチングネットワークの可変リアクティブ素子のキャパシタンス又はインダクタンスの変化量を目標駆動周波数ｆｔと前記駆動周波数ｆの違いの関数で制御することを含む。【選択図】図１