制备碳或金属纳米粒子材料的装置及工艺

摘要

制备碳或金属纳米粒子材料的装置及工艺属于纳米技术与微粒子合成技术领域。其特征在于它是利用电子浴辅助阴极电弧源，把石墨或金属及其合金制成阴极电弧源靶材，引燃电弧后发射出高能量、高密度、高离化率的碳或金属的离子流，经电子发射装置产生的大量热电子的碰撞后进一步离化，在液氮急速冷却的收集器内合成碳或金属的纳米粒子，该发明具有合成速度快、设备简单、成本低等优点。

主权项

1.制备碳或金属纳米粒子材料的装置，其特征在于，是用碳或金属材料制成的靶材作为电子浴辅助阴极电弧源的一种装置，该装置就是在可抽成真空且能充入惰性气体介质的真空容器(2)中，设有阴极电弧源系统、热电子发射系统、冷凝收集器系统、抽气系统(10)和供气系统(7)，其阴极电弧源系统由阴极电弧源靶(5)和引燃电弧钩(8)组成，热电子发射系统由热电子发射装置(4)和加热电源(3)组成，冷凝收集器系统由冷凝收集器(1)和液氮冷却液(9)组成，阴极电弧源靶(5)和引燃电弧钩(8)安装在真空容器(2)上方的容器壁上，热电子发射装置(4)置于阴极电弧源靶(5)下方一定距离处，冷凝收集器(1)置于真空容器(2)的下方，在阴极电弧源靶(5)和真空容器(2)壁上连接20-22V、50-250A可调直流电源(6)，热电子发射装置是由高熔点金属制成螺旋状排放在阴极电弧源靶下方一定距离处，冷凝收集器是由耐高温、导热性能好的不同形状并能快速冷凝的金属材料制成。