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发明名称
COMPOUND USED TO FORM A SELF-ASSEMBLED MONOLAYER, LAYER STRUCTURE, SEMICONDUCTOR COMPONENT HAVING A LAYER STRUCTURE, AND METHOD FOR PRODUCING A LAYER STRUCTURE
摘要
申请公布号
KR100777853(B1)
申请公布日期
2007.11.28
申请号
KR20057024399
申请日期
2005.12.19
申请人
发明人
分类号
H01L21/302;B05D1/18;C03C17/30;C03C17/38;C07F7/12;C07F7/18;G03F7/00;G03F7/004;G03F7/16;H01L21/00;H01L21/335;H01L51/30
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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