| 发明名称 | 玻璃溅射机构 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种玻璃溅射机构，其中，所述玻璃溅射机构包括壳体，所述壳体内部的上端固定有靶材机构，所述靶材机构下方设有挡板，所述挡板的周边与所述壳体内壁相连接，所述挡板上设有贯穿槽，所述贯穿槽位于所述靶材机构的正下方，所述挡板中靠近所述靶材机构的表面上可移动地设有第一滑板和第二滑板，通过滑动所述第一滑板和所述第二滑板可以将所述贯穿槽遮蔽。解决了传统的溅射设备其运输机构和靶材机构之间并没有设置有挡板，不利于靶材机构调试的问题。 | ||
| 申请公布号 | CN105948523A | 申请公布日期 | 2016.09.21 |
| 申请号 | CN201610266416.7 | 申请日期 | 2016.04.27 |
| 申请人 | 芜湖真空科技有限公司 | 发明人 | 金海涛;薛辉;昌江;任俊春 |
| 分类号 | C03C17/00(2006.01)I | 主分类号 | C03C17/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种玻璃溅射机构，其特征在于，所述玻璃溅射机构包括壳体(1)，所述壳体(1)内部的上端固定有靶材机构(8)，所述靶材机构(8)下方设有挡板(2)，所述挡板(2)的周边与所述壳体(1)内壁相连接，所述挡板(2)上设有贯穿槽，所述贯穿槽位于所述靶材机构(8)的正下方，所述挡板(2)中靠近所述靶材机构(8)的表面上可移动地设有第一滑板(51)和第二滑板(52)，通过滑动所述第一滑板(51)和所述第二滑板(52)可以将所述贯穿槽遮蔽。 | ||
| 地址 | 241000 安徽省芜湖市经济技术开发区东梁山路11号 | ||