发明名称 |
用于半球试件湿法刻蚀各向异性速率测试的可调整式夹具 |
摘要 |
一种用于半球试件湿法刻蚀各向异性速率测试的可调整式夹具,包括底座、滑钉、紧固塞、组合滑钉和球底托片,提篮把手采用两竖杆一横梁结构,横梁中部设有圆弧细腰,底座上设有两条垂直分布的直线T型槽和一圈圆形T型槽,夹紧时先将半通直线T型槽内滑钉推至圆弧端面处,然后滑动全通直线T型槽内滑钉使其与刻蚀球两底孔距离一致,再将两滑钉压入刻蚀球底孔,最后将紧固塞推入全通直线T型槽顶紧滑钉直至不再移动,以此水平方向定位夹紧;组合滑钉在圆形T型槽内滑动待与刻蚀球侧孔位置一致后,将夹紧销钉插入刻蚀球侧孔,以此竖直方向夹紧球体;球底托片用于保护刻蚀球底面,装夹前用W型阿皮松蜡涂匀粘附于球底面。 |
申请公布号 |
CN104924234B |
申请公布日期 |
2016.11.23 |
申请号 |
CN201510217689.8 |
申请日期 |
2015.04.30 |
申请人 |
东南大学 |
发明人 |
幸研;张辉;李源 |
分类号 |
B25B11/00(2006.01)I |
主分类号 |
B25B11/00(2006.01)I |
代理机构 |
南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 |
代理人 |
柏尚春 |
主权项 |
一种用于半球试件湿法刻蚀各向异性速率测试的可调整式夹具,其特征在于,该夹具包括底座(1)、滑钉底座(4)、第一定位夹紧滑钉(8)、第二定位夹紧滑钉(10)和紧固塞(3),所述底座(1)上设置有圆形T型槽(15)、切割所述圆形T型槽(15)的全通直线T型槽(13)和半通直线T型槽(14),所述全通直线T型槽(13)贯穿底座(1)两端面,所述半通直线T型槽(14)贯穿底座(1)一侧端面,并垂直于全通直线T型槽(13)但不与之相交,所述滑钉底座(4)嵌入圆形T型槽(15)并能在其中滑动,滑钉底座(4)上设置有水平的销钉孔(16)和装配在所述销钉孔(16)中的夹紧销钉(2),所述第一定位夹紧滑钉(8)嵌入半通直线T型槽(14)并能在其中滑动,所述第二定位夹紧滑钉(10)嵌入全通直线T型槽(13)并能在其中滑动,所述紧固塞(3)从全通直线T型槽(13)任意一侧塞入,推动第二定位夹紧滑钉(10)并将其卡紧。 |
地址 |
210096 江苏省南京市四牌楼2号 |