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发明名称
DEVICE AND METHOD FOR INSPECTING DEFECT ON DISK INTERNAL DIAMETER SIDE SURFACE
摘要
申请公布号
JPH11316192(A)
申请公布日期
1999.11.16
申请号
JP19980122298
申请日期
1998.05.01
申请人
MITSUBISHI RAYON CO LTD
发明人
FUSE MASAKI
分类号
G01N21/88;G01N21/95;G11B5/84;(IPC1-7):G01N21/88
主分类号
G01N21/88
代理机构
代理人
主权项
地址
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