发明名称 METHOD FOR FABRICATING NANO CRYSTALLINE SILICON
摘要
申请公布号 KR20070046355(A) 申请公布日期 2007.05.03
申请号 KR20050102962 申请日期 2005.10.31
申请人 KOREA UNIVERSITY INDUSTRIAL & ACADEMIC COLLABORATION FOUNDATION 发明人 KIM, TAE GEUN;CHOI, WON CHEL
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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