发明名称 半导体晶片、其制造方法以及制造半导体器件的方法
摘要 一种半导体晶片中包括:在半导体衬底的前表面上形成的多个元件形成区,沿着每个元件形成区的周边形成的划线沟槽,以及位于划线沟槽的交叉点的阻止物,以阻塞划线沟槽。
申请公布号 CN100355035C 申请公布日期 2007.12.12
申请号 CN200510008371.5 申请日期 2005.02.22
申请人 恩益禧电子股份有限公司 发明人 大沼学
分类号 H01L21/302(2006.01) 主分类号 H01L21/302(2006.01)
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 穆德骏;陆弋
主权项 1.一种半导体晶片,包括:半导体衬底;在所述半导体衬底的前表面上形成的多个元件形成区;沿着每个所述元件形成区的周边以栅格图形形成划线沟槽;和在所述划线沟槽中有选择地位于所述划线沟槽的交叉区的阻止物,以阻塞所述划线沟槽并且把所述划线沟槽分隔成多个沟槽。
地址 日本神奈川