发明名称 |
Verfahren zum Charakterisieren von Mikrowellenbauelementen |
摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Charakterisieren von Mikrowellenbauelementen, insbesondere zum Kalibrieren von Netzwerkanalysatoren zur kalibrierten Messung von elektronischen Mikrowellenbauelementen, welches Verfahren folgende Verfahrensschritte umfasst: A Messen von S-Parametern einer Anzahl N von Kalibrationsstandards, welche Anzahl N von Kalibrationsstandards größer ist als für eine analytische Bestimmung der durch die Kalibration ermittelbaren Kalibrationsparameter notwendig; B Berechnen der Kalibrationsparameter abhängig von den gemessenen S-Parametern der Kalibrationsstandards. Wesentlich ist, dass das Berechnen der Kalibrationsparameter in Verfahrensschritt B auf der Grundlage eines Gleichungssystems abhängig von vorgegebenen SKal-Parametern der Kalibrationsstandards erfolgt, und in einem Verfahrensschritt C nach dem Verfahrensschritt B ein Gütekriterium der Kalibrationsparameter bestimmt wird. |
申请公布号 |
DE102014119331(B4) |
申请公布日期 |
2016.08.25 |
申请号 |
DE201410119331 |
申请日期 |
2014.12.22 |
申请人 |
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. |
发明人 |
Seelmann-Eggebert, Matthias |
分类号 |
G01R35/00;G01R27/28;G01R31/28;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R35/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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