发明名称 Verfahren zum Charakterisieren von Mikrowellenbauelementen
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Charakterisieren von Mikrowellenbauelementen, insbesondere zum Kalibrieren von Netzwerkanalysatoren zur kalibrierten Messung von elektronischen Mikrowellenbauelementen, welches Verfahren folgende Verfahrensschritte umfasst: A Messen von S-Parametern einer Anzahl N von Kalibrationsstandards, welche Anzahl N von Kalibrationsstandards größer ist als für eine analytische Bestimmung der durch die Kalibration ermittelbaren Kalibrationsparameter notwendig; B Berechnen der Kalibrationsparameter abhängig von den gemessenen S-Parametern der Kalibrationsstandards. Wesentlich ist, dass das Berechnen der Kalibrationsparameter in Verfahrensschritt B auf der Grundlage eines Gleichungssystems abhängig von vorgegebenen SKal-Parametern der Kalibrationsstandards erfolgt, und in einem Verfahrensschritt C nach dem Verfahrensschritt B ein Gütekriterium der Kalibrationsparameter bestimmt wird.
申请公布号 DE102014119331(B4) 申请公布日期 2016.08.25
申请号 DE201410119331 申请日期 2014.12.22
申请人 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 发明人 Seelmann-Eggebert, Matthias
分类号 G01R35/00;G01R27/28;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R35/00
代理机构 代理人
主权项
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