发明名称 APPARATUS FOR PUSHING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要 반도체 소자 푸싱 기구는 다수의 반도체 소자들이 수납되는 수납 플레이트와 마주하도록 배치되어 상기 반도체 소자들 각각을 푸싱하며, 단부에 상기 반도체 소자들 각각과 직접 접촉하여 이들 각각을 가열 또는 냉각하기 위한 열전소자가 장착된다.
申请公布号 KR20160148848(A) 申请公布日期 2016.12.27
申请号 KR20150085568 申请日期 2015.06.17
申请人 세메스 주식회사 发明人 이현진;권세민
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L35/02 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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