| 发明名称 |
(A) ;PRODUCTION OF PHASE SHIFT MASK AND PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0635171(B2) |
申请公布日期 |
1994.05.11 |
| 申请号 |
JP19850019450 |
申请日期 |
1985.02.04 |
| 申请人 |
YOSHINO KOGYOSHO CO LTD |
发明人 |
TANNO TOKU;IKEMURA TSUGUHIRO |
| 分类号 |
B32B5/18;B29C47/06;B29C59/00;B29K105/04;B32B37/24;(IPC1-7):B32B5/18 |
主分类号 |
B32B5/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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