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发明名称
A VACUUM PUMP WITH MAGNETIC BEARING SYSTEM
摘要
申请公布号
EP0981694(B1)
申请公布日期
2004.09.22
申请号
EP19990911202
申请日期
1999.03.09
申请人
VARIAN, INC.
发明人
CASARO, FAUSTO;MEEKS, CRAWFORD;LAAGER, ALAIN
分类号
F04D19/04;F16C39/02;F16C39/06;(IPC1-7):F16C39/06
主分类号
F04D19/04
代理机构
代理人
主权项
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