发明名称 Chip assembly with at least two semiconductor chips and method of controlling the alignment of two adjacent semiconductor chips
摘要
申请公布号 EP1391928(B1) 申请公布日期 2009.03.18
申请号 EP20030017866 申请日期 2003.08.05
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 GRUBER, WOLFGANG;JANKE, MARCUS
分类号 H01L23/544;H01L21/60;H01L21/98;H01L23/58;H01L25/065 主分类号 H01L23/544
代理机构 代理人
主权项
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