发明名称 |
Chip assembly with at least two semiconductor chips and method of controlling the alignment of two adjacent semiconductor chips |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1391928(B1) |
申请公布日期 |
2009.03.18 |
申请号 |
EP20030017866 |
申请日期 |
2003.08.05 |
申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
GRUBER, WOLFGANG;JANKE, MARCUS |
分类号 |
H01L23/544;H01L21/60;H01L21/98;H01L23/58;H01L25/065 |
主分类号 |
H01L23/544 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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