固态图像传感器

摘要

一种固态图像传感器包括具有光电转换部分的半导体层和布置于所述半导体层的第一面侧的布线结构，并从所述半导体层的第二面侧接收光。所述布线结构包括反射部分和绝缘膜，所述反射部分具有朝向所述半导体层反射从第二面向第一面透过所述半导体层的光的反射表面，所述绝缘膜位于所述反射表面与第一面之间。所述传感器包含第一介电膜和第二介电膜，第一介电膜被布置为接触第一面，第二介电膜被布置于所述绝缘膜与第一介电膜之间，并具有与第一介电膜和所述绝缘膜的折射率不同的折射率。

主权项

一种固态图像传感器，包括：具有第一面和第二面的半导体层，所述半导体层在第一面与第二面之间包括多个光电转换部分；布置于所述半导体层的第一面侧的布线层；布置于所述半导体层的第二面侧的滤色器层；布置于所述半导体层的第一面侧的多个反射部分，所述多个反射部分中的每一个被布置在与第一面平行的平面中并且具有朝向所述半导体层反射从第二面向第一面透过所述半导体层的光的反射表面；绝缘膜，在第一面与所述平面之间连续地延伸，横过多个第一部分和第二部分，使得所述多个第一部分与所述第二部分由相同材料形成，所述多个第一部分在与第一面垂直的方向上位于所述多个反射部分的反射表面与第一面之间，所述第二部分在与第一面平行的方向上位于所述第一部分之间，并且所述第二部分在与第一面垂直的方向上不位于所述第一面与所述反射表面之间；晶体管的栅电极，在与所述半导体层的第一面垂直的方向上位于所述半导体层的第一面与绝缘膜之间；第一介电膜，所述第一介电膜被布置为接触第一面，所述第一介电膜包括在与第一面垂直的方向上位于光电转换部分与多个反射部分之间的部分；和第二介电膜，所述第二介电膜被布置于所述绝缘膜与第一介电膜之间，并具有与第一介电膜和所述绝缘膜的折射率不同的折射率，所述第二介电膜包括在与第一面垂直的方向上位于光电转换部分与多个反射部分之间的部分，并且包括在与第一面垂直的方向上位于第一面与所述绝缘膜的第二部分之间的部分。