用于半导体微纳器件湿法工艺的铁氟龙夹具及其应用

摘要

本发明涉及一种用于半导体微纳器件湿法工艺的铁氟龙夹具及其应用，所述包括第一夹板、第二夹板、第一滑杆、第二滑杆和手柄，第一夹板和第二夹板平行设置；第一滑杆一端垂直的固定在第一夹板上，另一端配合的穿过第二夹板；第二滑杆一端垂直的固定在第二夹板上，另一端配合的穿过第一夹板；手柄固定在第一滑杆或第二滑杆上，第一夹板和第二夹板相互正对的一面上分别设有相互配合的卡槽。第一夹板、第二夹板、第一滑杆、第二滑杆和手柄均由铁氟龙材料加工而成。该夹具结构简单、夹取方便；该夹具可以应用于半导体微纳器件的清洗、刻蚀、显影、润洗、去胶等湿法工艺中，效率高，操作方便。

主权项

一种用于半导体微纳器件湿法工艺的铁氟龙夹具，其特征在于：包括第一夹板、第二夹板、第一滑杆、第二滑杆和手柄，第一夹板和第二夹板平行设置；第一滑杆一端垂直的固定在第一夹板上，另一端配合的穿过第二夹板；第二滑杆一端垂直的固定在第二夹板上，另一端配合的穿过第一夹板；手柄固定在第一滑杆或第二滑杆上，第一夹板和第二夹板相互正对的一面上分别设有相互配合的卡槽，第一夹板、第二夹板、第一滑杆、第二滑杆和手柄均由铁氟龙材料加工而成。