发明名称 半导体装置测试系统、测试控制器、测试头、半导体装置测试器的界面区块、用于列出受测试半导装置的方法、及支援半导体装置测试的方法
摘要 本文揭示一半导体装置测试系统和一测试处理器。一温度控制设备被安装到一测试头的一界面区块,及移除从一测试板产生的热量。因此,可以执行具有一高度可靠性的半导体装置的测试。
申请公布号 TWI387033 申请公布日期 2013.02.21
申请号 TW098108257 申请日期 2009.03.13
申请人 泰克元股份有限公司 南韩 发明人 罗闰成;具泰兴;刘晛准;金昌来
分类号 H01L21/66;H05K7/20 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项
地址 南韩