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发明名称 Wärmeschutzvorrichtung für Dichtungsringe in einem Plasmaerzeugungsgerät
摘要
申请公布号 DE60038644(T2) 申请公布日期 2009.06.18
申请号 DE20006038644T 申请日期 2000.03.16
申请人 APPLIED MATERIALS INC. 发明人 TANAKA, TSUTOMU;NOWAK, THOMAS;NGUYEN, CHAU;PONNEKANTI, HARI;FAIRBAIRN, KEVIN
分类号 H01J37/32;H05H1/46;C23C16/44;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
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