一种金属纳米叉指光栅的制备方法

摘要

本发明公开了一种金属纳米叉指光栅的制备方法，其包括以下步骤：步骤A：在清洗好的衬底基片上，采用镀膜设备生长一定厚度的金属膜；步骤B：对所述金属膜旋涂光刻胶，采用电子束光刻方法在光刻胶上制备叉指光栅；步骤C：采用离子束刻蚀方法将所述叉指光栅转移到金属膜上；步骤D：在热丙酮溶液中洗去金属膜和叉指光栅上的残胶，再使用微波等离子体去胶机去掉残留有机物。上述制备方法采用了电子束光刻和离子束刻蚀技术，能够实现纳米尺寸的结构加工，精确控制叉指型金属光栅的结构周期，有效的改变光栅的结构周期，缝宽及线宽；且通过本方法制备的叉指光栅，兼有纳米电极和纳米光栅的两种功能。

主权项

一种金属纳米叉指光栅的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤A：在清洗好的衬底基片上，采用镀膜设备生长金属膜；步骤B：对所述金属膜旋涂光刻胶，采用电子束光刻方法在光刻胶上制备叉指光栅；步骤C：采用离子束刻蚀方法将所述叉指光栅转移到金属膜上；步骤D：洗去金属膜和叉指光栅上的残胶，以及去掉上面的残留有机物。