BARRIERENDICHTUNG FÜR EINE ELEKTROSTATISCHE HALTEVORRICHTUNG

摘要

Bereitgestellt ist eine Barrierendichtung für eine elektrostatische Haltevorrichtung (10) im Plasmaätzprozess. Die Barrierendichtung umfasst mehrere Dichtungsbereiche, um die Verbindungsschicht (12) der elektrostatischen Haltevorrichtung (10) und das Plasmagas zu trennen. Die Nut (14) der elektrostatischen Haltevorrichtung (10) kann vollständig durch die Barrierendichtung gefüllt werden. Selbst wenn eines der mehreren Dichtungsbereiche im Plasmaätzprozess durch das Plasmagas zerstört ist, verhindert die Barrierendichtung weiterhin effektiv eine Undichtigkeit der elektrostatischen Haltevorrichtung (10). Die Barrierendichtung stellt einen Pufferzeitraum für Ingenieure bereit, die beschädigte Barrierendichtung auszuwechseln, bevor eine Undichtigkeit auftritt. Die Gefahr einer durch den abrupten Bruch der Barrierendichtung hervorgerufene Undichtigkeit wird herabgesetzt. Darüber hinaus fördert die Barrierendichtung die Stabilität und Sicherheit des Plasmaätzprozesses. Der Gewinn mit der elektrostatischen Haltevorrichtung (10) hergestellter Produkte kann erhöht werden.