包含非周边弹性件的微机电系统声响传感器

摘要

本申请关于包含非周边弹性件的微机电系统声响传感器。该声响传感器包含背板和隔板。该声响传感器还包含弹性件以及设置在该背板和该隔板之间的选择性间隔件，使得该背板和该隔板之间有间隙。该间隙可响应于依据该弹性件的设计而作用在该隔板上的冲击压力而改变，并造成介于该背板和该隔板之间的可变电容。该间隙的改变可造成与该可变电容相关联的电性特性的改变，并可被转换成对应在该隔板上的该冲击压力的电性输出讯号。该弹性件可以是该背板或隔板的一部分。

主权项

一种微机电系统(MEMS)声响传感器，包含：隔板，实质上平行于背板而设置，该设置影响该隔板与该背板之间所测量的可变电容，该可变电容为该隔板与该背板之间的改变的函数，而该改变是源自于与冲击压力波的交互作用；以及弹簧，耦接至连接结构，其中，该连接结构是设置在该背板与该隔板之间，并且，该弹簧设计决定该隔板与该背板之间的该距离的该改变。