发明名称 Verfahren zur Herstellung eines integrierten ferroelektrischen Speichers
摘要
申请公布号 DE10116875(B4) 申请公布日期 2006.06.14
申请号 DE20011016875 申请日期 2001.04.04
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 HARTNER, WALTER;KROENKE, MATTHIAS;WEINRICH, VOLKER
分类号 H01L21/8239;H01L21/02;H01L21/8246;H01L27/115 主分类号 H01L21/8239
代理机构 代理人
主权项
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