| 发明名称 |
MEMS电容麦克风 |
| 摘要 |
本实用新型提供了一种MEMS电容麦克风，包括基底、平行于基底的背板、与背板相对形成电容效应的振膜，所述振膜包括固定部和与固定部连接的振动部，在所述振膜的中心设置有孔，自该孔向振膜的固定部方向设置有至少两个槽，所述槽与所述孔相通。该种麦克风灵敏度好。 |
| 申请公布号 |
CN201403199Y |
申请公布日期 |
2010.02.10 |
| 申请号 |
CN200920135933.6 |
申请日期 |
2009.03.27 |
| 申请人 |
瑞声声学科技(常州)有限公司;瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
发明人 |
张睿 |
| 分类号 |
H04R19/04(2006.01)I;H04R7/02(2006.01)I |
主分类号 |
H04R19/04(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1、一种MEMS电容麦克风，包括基底、平行于基底的背板、与背板相对形成电容效应的振膜，所述振膜包括固定部和与固定部连接的振动部，其特征在于：在所述振膜的中心设置有孔，自该孔向振膜的固定部方向设置有至少两个槽，所述槽与所述孔相通。 |
| 地址 |
213167江苏省常州市武进区南夏墅镇 |
