旋转真空腔室连接组件

摘要

一种用于将偏压引入至真空腔室中的连接件(30)。该连接件包括金属球轴承组件(36)、轴承套或杯(34)、以及位于轴承套或杯中的EMI屏蔽垫圈(42)。该球轴承组件被装配在EMI屏蔽垫圈中，围绕金属轴(32)，金属轴进而连接至偏压源。该轴承套或杯进而连接至旋转构件，如台板，用于将偏压接收在真空腔室中。

主权项

一种连接件，用于将偏压传递至被支撑在封闭真空腔室中的旋转台板，该连接件包括：导电轴承杯，所述轴承杯在底座处被轴向地固定在所述旋转台板且具有从所述底座轴向地延伸进入旋转台板转接器的轴向孔中的环形侧壁；共轴地设置在所述旋转台板转接器的轴向孔中的固定导电棒，所述导电棒被连接至偏压的外部源并在所述轴承杯的环形侧壁中共轴地延伸；装配在所述轴承杯中的导电轴承，所述轴承具有外座圈、内座圈和多个导电滚子元件，该外座圈具有电连接至所述轴承杯的外表面，该内座圈具有配合至所述导电棒的内表面，该多个导电滚子元件被设置在所述内座圈和所述外座圈之间；且其中所述棒、所述轴承和所述轴承杯限定用于从所述外部源将所述偏压输送至所述旋转台板的通路。