制造多晶矽薄膜之方法及制造具有多晶矽薄膜之薄膜电晶体之方法

摘要

在一种制造一多晶矽薄膜之方法及一种制造具有该薄膜之一TFT之方法中，将一雷射束照射在一非晶矽薄膜之一部分上以液化该非晶矽薄膜之该部分。该非晶矽薄膜在一基板之一第一末端部分上。使液化矽结晶以形成矽晶粒。在一第一方向上将该雷射束自该基板之该第一末端部分向一第二末端部分移动一间隔，该第二末端部分与该第一末端部分相对。然后将该雷射束照射在与该等矽晶粒相邻之该非晶矽薄膜之一部分上以形成一第一多晶矽薄膜。因此，可改良该非晶矽薄膜之电学特征。