研磨方法和研磨装置

摘要

本发明提供了研磨和研磨装置，可靠地防止了研磨损坏的产生并且避免研磨工件的损坏。按照本发明的较佳实施例，研磨方法包括的步骤是，首先间断地对工件进行研磨操作，在完成间断研磨操作之后对工件连续进行研磨操作。

主权项

1.一种工件研磨方法，包括以下步骤：第一步是间断地对工件进行研磨；以及第二步是对工件连续进行研磨；其特征在于，第一步以较低转矩和较低速度间断地对工件进行研磨，第二步以较高转矩和较高速度对工件连续进行研磨。