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发明名称 FREE-FORM OPTICAL SURFACE MEASURING APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 EP1668318(A1) 申请公布日期 2006.06.14
申请号 EP20040788506 申请日期 2004.09.29
申请人 NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO 发明人 HENSELMANS, RENS;ROSIELLE, PETRUS, CAROLUS, JOHANNES, NICOLAAS
分类号 G01B9/02;G01B21/04;G01B21/20;(IPC1-7):G01B21/04;G01M11/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
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