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发明名称 METHOD FOR FORMING VERTICAL FERROELECTRIC CAPACITORS
摘要
申请公布号 EP1668675(A1) 申请公布日期 2006.06.14
申请号 EP20040775590 申请日期 2004.08.31
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 ZHUANG, HAOREN;EGGER, ULRICH;BRUCHHAUS, RAINER;HORNIK, KARL;LIAN, JINGYU;GERNHARDT, STEFAN
分类号 H01L21/02;H01L21/311;H01L21/8246;H01L27/115;(IPC1-7):H01L21/02;H01L21/824 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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