FILTER E.G. FOR A LITHOGRAPHY APPARATUS,申请号KR20000071728-传众专利搜索

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发明名称	FILTER E.G. FOR A LITHOGRAPHY APPARATUS
摘要
申请公布号	KR100589242(B1)	申请公布日期	2006.06.14
申请号	KR20000071728	申请日期	2000.11.29
申请人		发明人
分类号	G02B5/28;G03F7/20;H01L21/027	主分类号	G02B5/28
代理机构		代理人
主权项
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