Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung,申请号DE20036019658-传众专利搜索

发明名称	Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
摘要
申请公布号	DE60319658(D1)	申请公布日期	2008.04.24
申请号	DE20036019658	申请日期	2003.11.27
申请人	ASML NETHERLANDS B.V.	发明人	SIMON, KLAUS;LOF, JOERI;MINNAERT, ARTHUR WINIFRED EDUARDUS;SMEETS, ERIK MARIE JOSE
分类号	G03F7/20;B01J19/00;B81C1/00;C40B60/14	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
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