半导体制程废气中氟化物的净化装置

摘要

本实用新型提供一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，包括一反应腔室形成于废气处理槽内，该废气处理槽配置能导引含藏有氟化物的废气进入反应腔室内的导入管，以及植入反应腔室内的热管，该热管内穿设有加热棒，该加热棒与热管的管壁之间形成通道，该注水管导引水进入通道内，所述通道内的水接触加热棒而生成高温的水雾状气态水，所述气态水导入反应腔室内溶解氟化物成为氟化氢，其中该水雾状气态水接触氟化物的溶解温度界于370～1300℃之间。藉此，改善传统净化半导体制程废气中的氟化物的工序及装置结构过于复杂且净化效率难以提升的问题。

主权项

一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，其特征在于其包括：一反应腔室，形成于半导体废气处理槽内，该废气处理槽配置有至少一半导体制程废气的导入管，该导入管导引含藏有氟化物的半导体制程废气进入反应腔室；一热管，配置于废气处理槽并植入反应腔室内，该热管具有一形成于废气处理槽外的外端以及一形成于反应腔室内的内端，该外端设有一注水管，该内端形成有多个贯穿且分布于热管管壁的喷孔，其中；该热管内穿设有一加热棒，该加热棒与热管的管壁之间形成一通道，该通道连通注水管且经由该多个喷孔连通反应腔室，该注水管导引水进入通道内，该通道内的水接触加热棒而生成高温的水雾状气态水，该水雾状气态水经由该多个喷孔导入反应腔室内溶解氟化物成为氟化氢。