磁预紧系统中低发热的永磁部件

摘要

本发明属于半导体光学光刻制造技术领域，主要涉及工件台的磁预紧系统，具体涉及低发热的永磁部件。所述磁预紧系统中低发热的永磁部件包括若干硅钢片叠加形成的硅钢片组、承载硅钢片组的安装基座和涂覆在硅钢片组上表面的涂层，所述涂层为工件台的气浮运动面。本发明提供的永磁部件可从源头上解决工件台运动过程中硅钢板的发热量过大现象，省去了冷却系统。同时硅钢片是电工行业中常用的成品材料，可以省去了复杂的加工制造过程，安装维护便捷，有效的降低了成本。

主权项

一种磁预紧系统中低发热的永磁部件，其特征在于，包括若干硅钢片叠加形成的硅钢片组、承载硅钢片组的安装基座和涂覆在硅钢片组上表面的涂层；所述永磁部件还包括硅钢片组的紧固机构，所述紧固机构使若干硅钢片紧密叠加；所述紧固机构包括至少一个芯轴和设置在芯轴两端的压紧螺母，所述硅钢片组中的每个硅钢片上设有芯轴相应数量的轴孔，芯轴穿过每个硅钢片上相应位置的轴孔并从硅钢片组两端伸出，伸出部分与压紧螺母通过螺纹连接，设置在两端的压紧螺母将串在芯轴上的硅钢片压紧构成一个整体；所述安装基座包括至少一个U型安装梁，安装梁包括两端立板和中间承载段，所述硅钢片组设置在中间承载段上；所述立板上设有与芯轴相配合的U型槽，芯轴从硅钢片组伸出的部分放置在U型槽中，压紧螺母设置在立板外侧，将硅钢片组、安装基座和紧固机构固定在一起。