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经营范围
发明名称
METHODS FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISH OF ORGANIC POLYMER DIELECTRIC FILMS
摘要
申请公布号
KR20000076183(A)
申请公布日期
2000.12.26
申请号
KR1019997008275
申请日期
1999.09.11
申请人
发明人
分类号
H01L21/3105
主分类号
H01L21/3105
代理机构
代理人
主权项
地址
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