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发明名称 Lithographischer Projektionsapparat mit einer Stützanordnung
摘要
申请公布号 DE60129377(D1) 申请公布日期 2007.08.30
申请号 DE20016029377 申请日期 2001.05.30
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 CUIJPERS, MARTINUS AGNES WILLEM;AUER, FRANK;VAN BALLEGOIJ, ROBERTUS NICODEMUS JACOBUS
分类号 G03F7/20;F16C32/06;G03F9/00;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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