| 发明名称 | 外观检查装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种外观检查装置，该外观检查装置(A)具有向基板(2)照射光的宏观照明部(1)和将基板(2)保持成可以将光照射在基板(2)的基板保持部(4)，在该外观检查装置(A)中，基板保持部(4)将基板(2)保持成基板(2)的表面(2a)大致垂直，宏观照明部(1)设置在检查者(7)可以观察来自基板(2)的反射光或者透过光的观察台(3)上，在将基板(2)大致垂直地保持在基板保持部(4)上的状态下，宏观照明部(1)和观察台(3)可以沿着基板面在二维方向上相对移动。 | ||
| 申请公布号 | CN101038377A | 申请公布日期 | 2007.09.19 |
| 申请号 | CN200710087689.6 | 申请日期 | 2007.03.15 |
| 申请人 | 奥林巴斯株式会社 | 发明人 | 大城清志 |
| 分类号 | G02F1/13(2006.01);G01B11/30(2006.01);G01M11/00(2006.01) | 主分类号 | G02F1/13(2006.01) |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 党晓林 |
| 主权项 | 1.一种外观检查装置，该外观检查装置向透明的基板照射宏观照明光来通过目视进行检查，其特征在于，该外观检查装置具有：基板保持部，其将上述基板保持成大致垂直；宏观照明部，其在上述基板保持部将上述基板保持为大致垂直的状态下，以预定的入射角度从目视检查上述基板的检查者的横向对上述基板表面照射上述宏观照明光；以及驱动单元，其使上述基板保持部和上述宏观照明部对于上述基板面进行相对的二维移动。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||