一种三维碳基压力传感器制备方法

摘要

本发明公开了一种三维碳基压力传感器制备方法，涉及压力传感器技术领域。方法包括：将泡沫金属镍放置于化学气相沉积炉中，通入甲烷与氢气进行反应，制备出石墨烯；将步骤一得到的制备有石墨烯的泡沫金属镍浸泡于硝酸铁和盐酸的混合水溶液中，除去泡沫金属镍，得到泡沫状的石墨烯；用水清洗泡沫石墨烯，之后烘干；在泡沫石墨烯的顶部和底部均放置碳基纤维作为柔性电极材料；在泡沫石墨烯和碳基纤维柔性电极上浇注上聚二甲基硅氧烷，固化成压力传感器器件。本发明的压力传感器与人体生物兼容性很好，能够紧贴人体皮肤对生理信号进行实时的、定量的采集。

主权项

一种三维碳基压力传感器制备方法，其特征在于：具体步骤包括，步骤一、将泡沫金属镍放置于化学气相沉积炉中，通入甲烷与氢气进行反应，制备出石墨烯；步骤二、将步骤一得到的制备有石墨烯的泡沫金属镍浸泡于硝酸铁和盐酸的混合水溶液中，除去泡沫金属镍，得到泡沫状的石墨烯；步骤三、用水清洗泡沫石墨烯，之后烘干；步骤四、在泡沫石墨烯的顶部和底部均放置碳基纤维作为柔性电极材料；步骤五、在泡沫石墨烯和碳基纤维柔性电极上浇注上聚二甲基硅氧烷，固化成压力传感器器件。